WEB　Journal　投稿（2021年）

【題名】

バルク体の絶縁破壊電界強度を超えるアルミナ絶縁膜を常温・高速で作る装置
新規エアロゾル化ガスデポジション・マスク付きターゲット方式成膜装置
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渕田英嗣 : ウェブ・ジャーナル7月号, (2021) 13-18.