[nano tech 2018]
開催日:2018年2月14日(水)15日(木)16日(金)
時間:午前10時~午後5時
開催場所:東京ビックサイト 東5ホール
展示内容:エアロゾル化ガスデポジション成膜装置技術
出展ゾーン〈㈲渕田ナノ技研〉
(小間番号;S002-06【主催者企画/特別テーマエリア】
〈ベンチャーパビリオン【東ホール出入口付近】〉
プレゼン:2018年2月15日(木)11:40~11:55
講演者:㈲渕田ナノ技研 渕田英嗣
開催場所:シーズ&ニーズセミナーB会場(東6ホール会場内)
題目:静電誘導プラズマ成膜装置技術(エアロゾル化ガスデポジション装置)