日刊工業新聞 掲載
日刊工業新聞にエアロゾル化ガスデポジション装置が掲載される
日時：2012年11月9日
場所：日刊工業新聞 ７頁
内容：常温でセラミックス成膜実現 渕田ナノ技研が量産機を開発 ［PDF］
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